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GJTJ系列機(jī)械式二維工件臺 |
| 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所長期從事精密工件臺研發(fā)工作，先后完成國內(nèi)首臺1.5微米g線步進(jìn)投影光刻機(jī)、國內(nèi)首臺亞微米g線步進(jìn)投影光刻機(jī)、國內(nèi)首臺i線步進(jìn)投影光刻機(jī)、步進(jìn)投影數(shù)字光刻機(jī)、“激光共聚焦生物芯片掃描儀”、EUV曝光系統(tǒng)、接近接觸光刻機(jī)、光子篩激光直寫光刻機(jī)、臺式投影光刻機(jī)、3D生物打印機(jī)等設(shè)備的研制。這些高精度裝備的工件臺均是自主研發(fā)。已銷售各種型號高精度工件臺產(chǎn)品近百臺。 GJTJ系列機(jī)械式二維工件臺有GJTJ-2A和GJTJ-2B兩種型號，其主要技術(shù)參數(shù)如下： |
| 產(chǎn)品型號 | GJTJ-2A機(jī)械式二維工件臺 | GJTJ-2B機(jī)械式二維工件臺 |
| 產(chǎn)品圖片 |  |
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| 重復(fù)定位精度 | ±300nm（±3σ） | ±40nm（±3σ） |
| 直線性 | 3″ | 3″ |
| 正交性 | 3″ | 3″ |
| XY向行程 | 100mm×100mm，200mm×200mm | 10mm×10mm； |
| 定制 | 可定制 | 可定制，定制范圍0mm～50mm |
| 結(jié)構(gòu)組成 | 串聯(lián)結(jié)構(gòu) | 并聯(lián)結(jié)構(gòu) |
| 驅(qū)動方式 | 電機(jī)帶動精密滾珠絲杠進(jìn)行驅(qū)動 | 電機(jī)帶動精密滾珠絲杠進(jìn)行驅(qū)動 |
| 導(dǎo)向方式 | 精密直線導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向 | 精密直線導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)向 |
| 檢測與反饋 | 精密光柵進(jìn)行位置檢測及反饋 | 精密光柵進(jìn)行位置檢測及反饋 |
| 技術(shù)特點(diǎn) | 電機(jī)與滾珠絲杠通過高品質(zhì)彈性聯(lián)軸器連接，傳動同步，消偏性能好，大大降低了偏心擾動和工作噪聲；精密滾珠絲杠采用預(yù)壓處理，消除了軸向背隙并可降低因軸向力造成的彈性位移；對導(dǎo)軌安裝面進(jìn)行研磨處理并結(jié)合精密裝調(diào)，可實(shí)現(xiàn)工件臺極高的運(yùn)動直線性（0.5″）和正交性（1″）；采用球頭帶動結(jié)構(gòu)可消除運(yùn)動噪聲及結(jié)構(gòu)平差；關(guān)鍵零部件均采用國外知名公司產(chǎn)品。步進(jìn)電機(jī)采用日本三洋，絲杠、導(dǎo)軌采用日本THK，精密光柵采用美國Micro-E，以保證工件臺的可靠性及穩(wěn)定性。 | |
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