雙面對(duì)準(zhǔn)紫外光刻機(jī)

型號(hào)：URE-2000S/A型　

該機(jī)采用國(guó)內(nèi)首創(chuàng)的CCD圖像底面對(duì)準(zhǔn)技術(shù)，單曝光頭正面曝光實(shí)現(xiàn)雙面對(duì)準(zhǔn)的總體設(shè)計(jì)技術(shù)。采用新穎的高精度、多自由度掩模—樣片精密對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，掩模—樣片對(duì)準(zhǔn)過(guò)程直觀(guān)，套刻對(duì)準(zhǔn)速度快、精度高。掩模板與樣片的放置采用推拉式基準(zhǔn)平板、真空吸附式，操作方便。

采用專(zhuān)利技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡平滑衍射效應(yīng)和實(shí)現(xiàn)均勻照明；

1、采用三爪和球氣浮同時(shí)找平，無(wú)論大片、小片調(diào)平精度均高；  

2、具備真空接觸曝光、硬接觸曝、壓力接觸曝光，以及接近式曝光四種功能；    

3、自動(dòng)分離對(duì)準(zhǔn)間隙和消除曝光間隙，間隙分離可達(dá)500μm；  

4、高倍率雙目雙視場(chǎng)顯微鏡和19英寸寬屏液晶顯示同時(shí)觀(guān)察對(duì)準(zhǔn)過(guò)程，

并提供USB輸出；既滿(mǎn)足高精度對(duì)準(zhǔn)，又可用于檢測(cè)曝光結(jié)果，且曝光結(jié)果和

方便存儲(chǔ)；  

5、電機(jī)機(jī)構(gòu)、彈性元件和傳感器保證接觸曝光壓力合適且重復(fù)性好；    

7、曝光波長(zhǎng)采用純凈365nm,冷光照明（曝光面能量15mW/cm ，溫度小于30度）；      

8、對(duì)準(zhǔn)完成，自動(dòng)消除曝光間隙，無(wú)橫向漂移且可通過(guò)監(jiān)視器觀(guān)察；

9、快門(mén)可以單獨(dú)開(kāi)啟，也可以數(shù)字設(shè)定自動(dòng)倒計(jì)時(shí)曝光（設(shè)定范圍0.1s-9999.9s）；    

10、采用350W進(jìn)口（德國(guó)）直流汞燈，可調(diào)節(jié)光的能量密度；  

11、汞燈具有高亮度和“待機(jī)”兩種方式，即曝光時(shí)采用高亮度照明，而不曝光

時(shí)采用低亮度的“待機(jī)”，從而延長(zhǎng)了汞燈壽命。      

12、設(shè)備外形美觀(guān)精制，性能非?？煽?；

13、上下片、版十分方便，自動(dòng)化程度很高，操作簡(jiǎn)便。

二．技術(shù)參數(shù)  

1、曝光面積：153mm×153mm

2、曝光波長(zhǎng)：365nm

3、分辨力：0.8µm（膠厚1.5um的正膠）    

4、對(duì)準(zhǔn)精度：?jiǎn)蚊?plusmn;0.8µm，雙面±2.5µm

5、掩模尺寸：3寸、4寸、5寸、7寸

6、承片臺(tái)：2寸、3寸、4寸、6寸

7、樣片尺寸直徑Ф30mm--Ф150mm(可適應(yīng)非標(biāo)準(zhǔn)片或碎片)   厚度0.1mm-6mm(可擴(kuò)展為15mm)

8、照明均勻性：±3%（Ф100mm范圍）±5%（Ф150mm范圍）

9、掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程：  X:±5mm;  Y:±5mm; θ: ±6度

10、汞燈功率：1000W（直流　德國(guó)歐司朗長(zhǎng)壽命型）

11、曝光方式：定時(shí)（到計(jì)時(shí)方式0.1s—9999.9s任意設(shè)定）

12、最大膠厚：500um

13、光源平行性：6度

14、雙目雙視場(chǎng)顯微鏡：物鏡三隊(duì)：4X、10X、20X，目鏡三對(duì)：10X、16X、20X

應(yīng)用領(lǐng)域

集成電路芯片、電子封裝、微電子機(jī)械系統(tǒng)、微光學(xué)元件、紅外探測(cè)器生物電泳芯片、激光二極管光刻、光柵光刻，波導(dǎo)陣列光刻、液晶顯示聲表器件、平板顯示器、大尺寸光柵、碼盤(pán)刻劃等