PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)

SemiProbe是美國(guó)一家領(lǐng)先的專業(yè)探針臺(tái)研發(fā)與制造公司，擁有多項(xiàng)專利技術(shù)，提供完整的所有探針測(cè)試的產(chǎn)品與解決方案。其產(chǎn)品包括全自動(dòng)，半自動(dòng)，手動(dòng)探針臺(tái)，MEMS測(cè)試探針臺(tái)，雙面測(cè)試，超低溫，高真空探針臺(tái)等等。SemiProbe 設(shè)計(jì)制造創(chuàng)新性模組化探測(cè)檢測(cè)系統(tǒng)，客戶遍及世界各地，其中包括大專院校、政府科研實(shí)驗(yàn)室、各類半導(dǎo)體制造公司、涉及微機(jī)械、納米技術(shù)、光電技術(shù)、光伏技術(shù)等領(lǐng)域，為科研以及制造提供經(jīng)濟(jì)高效、實(shí)用、擴(kuò)展性強(qiáng)的探測(cè)系統(tǒng)。同時(shí)SemiProbe還為用戶提供強(qiáng)有力的技術(shù)支持，可針對(duì)用戶的具體應(yīng)用需求，定制相對(duì)應(yīng)的產(chǎn)品和技術(shù)方案。

我們有可以解決您所面臨問題的一套最好的方案，PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)是基于SemiProbe可適應(yīng)性機(jī)構(gòu)專利研發(fā)的一套系統(tǒng)，與傳統(tǒng)檢測(cè)系統(tǒng)不同，PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)所有的基礎(chǔ)組件：基座、平臺(tái)、夾具、顯微鏡裝置、顯微鏡移動(dòng)、光學(xué)部件、操縱裝置等，都是可以更換的。這些特征使得PS4L 全自動(dòng)探針臺(tái)可適應(yīng)不同應(yīng)用需求，并且成為節(jié)省經(jīng)費(fèi)的最佳選擇。這種獨(dú)特的設(shè)計(jì)能夠準(zhǔn)確滿足客戶的要求，更重要的是，PS4L系統(tǒng)能夠進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)，以適應(yīng)環(huán)境測(cè)試條件的改變。PS4L系統(tǒng)的設(shè)計(jì)理念，與傳統(tǒng)檢測(cè)設(shè)備相比，能夠讓客戶節(jié)約更多時(shí)間，更多成本。

憑借60年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，美國(guó)品牌SemiProbe可以迅速為您提供各種定制化方案，以解決不同的難題。我們的宗旨就是讓客戶使用最少的資金獲得最新的技術(shù)、更及時(shí)的響應(yīng)市場(chǎng)需求。

SemiProbe產(chǎn)品的獨(dú)特優(yōu)點(diǎn)有：

2.SemiProbe的產(chǎn)品，全部都在美國(guó)本土設(shè)計(jì)制造，質(zhì)量有保證。

3.SemiProbe的另外一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是直流探針座和RF探針座通用，用戶只要一種探針座，換上直流或RF探針，即可做不同的測(cè)試，既方便又節(jié)省成本。目前業(yè)界其他公司的產(chǎn)品，多數(shù)直流探針座和RF探針座是不一樣的，并且價(jià)格昂貴，無法通用。其超高精度的亞微米級(jí)探針座，保證了高端精密測(cè)試的需求。

1.可滿足最大18英寸的晶圓基底的測(cè)試要求，并能兼容處理12/8/6/4英寸硅片及碎片。

2.主要應(yīng)用領(lǐng)域：器件性能、MEMS、光電子學(xué)、納米研究、光伏電池、失效分析及材料等相關(guān)領(lǐng)域。

3.可做直流和微波測(cè)試。

4.系統(tǒng)可在客戶現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)。

5.可增加高低溫及屏蔽系統(tǒng)

6.手動(dòng)探針測(cè)試方式，扎針對(duì)準(zhǔn)方式靈活。

7.可方便搭載loadpull, 激光測(cè)振及電學(xué)信號(hào)測(cè)試等不同的外圍設(shè)備。

8.可搭載各種規(guī)格探卡。

9.主要部件可依據(jù)實(shí)際要求定制。

PS4L 全自動(dòng)系統(tǒng)

1.可選尺寸：100 mm (FA-4),  150 mm (FA-6), 200 mm (FA-8), 300 mm (FA-12)

2.模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的硬件和軟件

3.所有的基礎(chǔ)組件：平臺(tái)，夾盤，光學(xué)組件和終端操縱裝置都是可以更換的。

4.可現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行升級(jí)

5.便攜式MHU—可移除，移動(dòng)，對(duì)接到任何一臺(tái)PS4L半自動(dòng)系統(tǒng)從而添加自動(dòng)化功能

6.可選各種各樣全面化的光學(xué)附件和升級(jí)裝置

PS4L 全自動(dòng)探針系統(tǒng)

SemiProbe的PS4L 全自動(dòng)探針系統(tǒng)是模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)最明顯和最靈活的自動(dòng)探針臺(tái)。它采用了SemiProbe獨(dú)家專利技術(shù)Probe System for Life (PS4L)可適應(yīng)性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，提供了無與倫比的靈活性和大大地為客戶節(jié)省了資金費(fèi)用。PS4L自動(dòng)探針系統(tǒng)可滿足客戶對(duì)精準(zhǔn)的規(guī)格參數(shù)的要求。

主要特征：

1.同一系統(tǒng)可符合多種應(yīng)用需求—— DC，高頻率，OPTO，MEMS以及更多

2.有三種操作模式可選：全自動(dòng)( 24/7)、半自動(dòng)和手動(dòng)

生產(chǎn)和分析性能

3.可處理2、3、4和6英寸的晶圓和基底

可現(xiàn)場(chǎng)升級(jí)更大的尺寸

4.可處理die，晶圓和幀上晶圓，有兩個(gè)終端操縱裝置

5.可處理薄和彎曲的晶圓-  50 um 到70 um

硅和III-V族化合物

6.可選多個(gè)盒子，一般是兩個(gè)

7.靈活的PILOT控制軟件包- 自動(dòng)晶圓和芯片對(duì)準(zhǔn)，Z高度探測(cè)和分析，晶圓形貌，界面和更多。

8.多種選擇-熱夾盤，光學(xué)部件，CCTV系統(tǒng)，條形碼閱讀器，OCR，操縱器，探針卡和更多。

9.模塊化設(shè)計(jì)-PS4L探測(cè)系統(tǒng)具有無與倫比的靈活性