服務熱線
4001027270
用途
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1、LED外延片/芯片/PSS圖形缺陷檢測
2、支持排線及電子印刷等圖形缺陷檢測
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型號
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XTL-2K
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載物臺
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全自動掃描載物臺
行程:158mm x 158mm/210mm x 210mm可選
支持夾具定制
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反饋系統(tǒng)
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線性反饋尺, 解析率:0.1um/1.0um可選
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聚焦
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電動聚焦系統(tǒng)
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探測系統(tǒng)
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特殊深景深顯微組合設計; 高品質(zhì)彩色成像系統(tǒng);
綜合放大倍率8.0x~100x; 超長工作距離>50mm
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照明方式
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專用組合環(huán)形光源及同軸光可切換照明
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軟件系統(tǒng)
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高性能缺陷檢測算法軟件系統(tǒng),內(nèi)嵌美軍標判據(jù)基準軟件;
提供各類數(shù)據(jù)庫接口,可將測量結(jié)果上傳至工藝主控終端
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檢查性能
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高品質(zhì)自動抓圖及拼圖功能; 結(jié)合自動標注存檔功能
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隔震系統(tǒng)
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隔振平臺,有效隔離高頻振動
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標配外觀尺寸
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長:1200mm 寬:800mm 高:1500mm
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