石墨舟上下料機(jī)QT-3000-GPSXL18全自動(dòng)管式PECVD硅片上下料機(jī),石墨舟上下料機(jī)國(guó)內(nèi)著名品牌首選啟天科技,
工藝
1.目的:將石墨舟內(nèi)的硅片由機(jī)器人控制吸盤(pán)機(jī)構(gòu)吸取出,然后通過(guò)輸送線裝進(jìn)塑料花籃內(nèi),以及把塑料花籃內(nèi)的硅片通過(guò)輸送線輸出再由機(jī)器人控制吸盤(pán)機(jī)構(gòu)吸取硅片投放到石墨舟內(nèi)。以供下一道工序使用。
2.適用尺寸:125/156mm單晶/多晶硅片
3.操作方式:全自動(dòng)
4. 石墨舟上下料機(jī)設(shè)備結(jié)構(gòu)原理:
管式PEVCD上/下料機(jī)如上圖所示,已經(jīng)鍍膜的硅片由機(jī)器人吸取從石墨舟上取出,經(jīng)第一條和第二條輸送線導(dǎo)入花籃里;未鍍膜的硅片從花籃里經(jīng)第三條和第四條輸送線導(dǎo)出后,再由機(jī)器人吸取裝進(jìn)石墨舟里,供下一道工序使用。其中每條硅片由上層和下層組成,用于滿籃和空籃的自動(dòng)切換。
裝取片定位裝置
未鍍膜硅片通過(guò)傳送帶輸送到硅片過(guò)渡承載盒里,過(guò)渡承載盒機(jī)構(gòu)檢測(cè)滿盒之后會(huì)啟動(dòng)裝取片定位裝置精確定位精準(zhǔn)確保每一塊硅片的位置后,機(jī)械人再高速取片,以增加裝取片的準(zhǔn)確性。
自動(dòng)換籃機(jī)構(gòu)/滿籃裝載和空籃導(dǎo)出機(jī)構(gòu)
換籃機(jī)構(gòu)由機(jī)械手和換籃皮帶輸送線上下層組成,由機(jī)械手將籃具夾住進(jìn)行導(dǎo)片,當(dāng)籃具導(dǎo)空時(shí),機(jī)械手將籃具夾住上升到上層皮帶,對(duì)接好后流入空籃導(dǎo)出皮帶,然后機(jī)械手下降至下層,將滿籃的硅片引入到機(jī)械手上,開(kāi)始準(zhǔn)備再次導(dǎo)片。
A、設(shè)備環(huán)境要求
1.電源: AC三相380V 50~60Hz
2.總功率: 8 Kw
3.潔凈壓縮空氣:5~7Kg/cm2
4. 潔凈壓縮空氣流量:300L/min
5.輸入真空壓力:-80kpa
6.輸入真空流量:400L/min
B、主要技術(shù)參數(shù)
1. 外形尺寸:(LxWxH) 5600x2150x2000mm
2.生產(chǎn)效率:上料3600pcs/h 下料3600pcs/h
3.碎片率:≤0.05/100(原碎片除外)
外形尺寸圖:
啟天自動(dòng)化設(shè)備股份有限公司資質(zhì):