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    SAWATEC瑞士進口 噴膠機 噴涂機 ispray 300

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-涂膠設備-自動噴涂機

    庫       存：

    1

    產       地：

    全國

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-涂膠設備-自動噴涂機

     針對具備高度結構化晶圓形貌、深度 MEMS 結構或不平整表面特征的基
    板，SAWATEC 公司的 iSPRAY-300 能夠確保盡可能均勻的噴涂效果。它是一款精密
    的噴膠機，適用于手動噴涂或噴霧顯影工藝，主要被應用于研究與開發(fā)實驗室，尤
    其是 MEMS 加工的試產和小量產場合。
    經過工藝優(yōu)化的噴嘴能夠結合低粘度的、特別適用于噴涂作業(yè)的光刻膠(例如 Shipley
    1813、AZ 4999、AZ 9260、SU8 等)生成最精細的小液滴。在一個封閉式工藝室中噴
    嘴經由“弓”字型行進路徑進行噴涂，由此可以確保整個基板表面上均勻的噴涂效
    果以及高度可再現性。該設備可用于圓形或正方形基板，最多可同時噴涂 4 個晶基
    板。
    iSPRAY-300 噴膠機適用于最大直徑為 300 mm 的晶圓或尺寸為 12x12 英寸的基板。

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