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CIOTA 系列三坐標(biāo)測(cè)

來(lái)自意大利經(jīng)典設(shè)計(jì)，采用優(yōu)質(zhì)鋼材和天然花崗巖作為機(jī)械本體的主要材料，確保在惡劣條件下的高精度檢測(cè)。穩(wěn)定的機(jī)械結(jié)構(gòu)能適合多種測(cè)量場(chǎng)合，靈活的測(cè)頭和軟件配置涵蓋了從計(jì)量室到車(chē)間各種工件的檢測(cè)。

機(jī)型的特點(diǎn)：

?橋式移動(dòng)結(jié)構(gòu)，具備敞開(kāi)的測(cè)量空間；

?全封閉的三軸結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證了整機(jī)精度的長(zhǎng)期穩(wěn)定；

?工作臺(tái)為整體天然花崗巖；

?加厚的工作臺(tái)設(shè)計(jì)，可滿足大承重、高精度的測(cè)量要求；

?可配置各種觸發(fā)、掃描測(cè)頭；

?可配置高精度光柵檢測(cè)系統(tǒng)；

?可選配溫度補(bǔ)償系統(tǒng)；

?模塊化設(shè)計(jì)可滿足用戶特殊定制要求。

工作環(huán)境要求

測(cè)量機(jī)室的溫度：20℃±2℃；測(cè)量機(jī)室的濕度：25%-75%

測(cè)量機(jī)周?chē)h(huán)境的最大溫度梯度： 1℃/h ， 1℃/m

機(jī)械振動(dòng)：

頻率0.2—2 Hz，振幅＜5×10-6m

頻率2—20 Hz，速度＜50×10-6m/s

頻率20—200 Hz，加速度＜5×10-3m/s2

供氣系統(tǒng)：

最小供氣壓力：0.6 Mpa 耗氣量：0.2 m3/min 氣管外徑：Φ6 mm

供電系統(tǒng)：

功耗：3 kw 電壓：220 v±5% 頻率：50 Hz

電流：15 A

專用地線電阻≤5 Ω

CIOTA 系列三坐標(biāo)測(cè)

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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