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    RCA清洗機

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-RCA清洗機

    產(chǎn)品品牌

    NTNY

    發(fā)貨期限：

    30-90天天

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國-江蘇省

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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    品牌：NTNY

    型號：

    所屬系列：半導(dǎo)體清洗設(shè)備-標準清洗-RCA清洗機

            設(shè)備臺面排列布置如（臺面布置圖）所示，共8個工作位，其中4個工藝槽，4個QDR槽，所有槽工作在潔凈、全封閉的結(jié)構(gòu)中，每個工作位有一個透明PVC自動門。每個工位均有一套單獨的控制按鈕（開始、停止、急停），工作參數(shù)通過觸摸屏設(shè)置，并能存儲最近設(shè)定參數(shù)歷史記錄。將來清洗片盒手工放在機械手上，操作人員按“開始/start按鈕”后，安全門自動關(guān)閉，由機械手按照設(shè)定的工藝程序自動完成片盒在工藝槽及QDR槽間的傳輸，清洗完成后系統(tǒng)發(fā)出報警提出信號，待人工手動取出。設(shè)備臺面的左、右前方分別配置PP材料的水氣槍（1把氣槍，4把水槍），便于工件及設(shè)備的清理。

     

    臺面布局：
    臺面布局

    整機主要由機架、工藝槽體、機械手系統(tǒng)、排風(fēng)系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、水路系統(tǒng)及氣路系統(tǒng)等組成。

    由于工藝槽內(nèi)藥液腐蝕性強，設(shè)備需要做防腐處理：
    （1）設(shè)備機架采用鋼結(jié)構(gòu)骨架包塑；
    （2）殼體采用瓷白色PP板材焊接成型，制程區(qū)由耐酸堿PP板材組合焊接而成；
    （3）電氣區(qū)設(shè)置在設(shè)備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；
    （4）槽體材料選用耐相應(yīng)溶液腐蝕的材料；
    （5）機械手探人濕區(qū)部分的零部件表面噴氟/套PFA管/teflon定制，以期達到防腐耐用；
    （6）藥液管路中，管子、閥門、接頭均為PFA材質(zhì)；
    （7）純水管路采用C-PVC

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