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    VPG 1600 終極型大尺寸掩膜版生產設備

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

    產品品牌

    Heidelberg

    庫       存：

    1

    產       地：

    全國

    數       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付

    品牌：Heidelberg

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-光刻設備-其它光刻設備

     
     
    詳細介紹
    終級型大尺寸掩膜版生產工具：VPG1600

           新型Volume High Generator(VPG)大尺寸圖形發(fā)生器，是海德堡科技在大型光學系統(tǒng)上科技的創(chuàng)新與突破的里程碑。其利用獨家專利的技術“寬闊的平行化曝光制程技術”而開發(fā)出來的。

       VPG是目前掩膜板大尺寸，大批量生產的可靠而又經濟的解決方案，特別適用諸如：需要大量掩膜版的電子封裝產業(yè)，彩色濾光片產業(yè)，以及其它特別需要大面積，而且高分辨率需求相關產業(yè)。另外，VPG還可以提供優(yōu)異的影像質量與注記差異（實際掩膜板與資料的差異）。

       VPG 設計有可以搭載多樣化不同尺寸的承載平臺，例如：1600mm*1400mm,1100mm*1100mm,800mm*800mm. 但這些系統(tǒng)都安裝有氣浮裝置，可配置半自動或者全自動的上下版裝置，并且可以選擇最高輸出功率20W的UV激光發(fā)射頭。微細化的寫入步距，可以確保優(yōu)越的粗糙度和連接邊界。平臺位置自動校正技術，可以進行優(yōu)異的自我校正，以達到精準的定位效果。
     

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