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美OAI光刻機(jī)Model 200, 800MBA, 5000, 2000

詳細(xì)介紹

美國(guó) OAI 光刻機(jī):
Model 2000 手動(dòng)曝光機(jī),實(shí)驗(yàn)室用 ,
Model 800MBA 雙面曝光機(jī), 實(shí)驗(yàn)室及小批量生產(chǎn),
Model 5000 全自動(dòng)曝光機(jī),生產(chǎn)型
Model 2000 全自動(dòng)邊緣曝光系統(tǒng),生產(chǎn)型

OAI 200型光刻機(jī)是一種具有成本效益的高性能掩模對(duì)準(zhǔn)器，采用經(jīng)過行業(yè)驗(yàn)證的組件，使OAI成為光刻設(shè)備行業(yè)的領(lǐng)導(dǎo)者。 200型是臺(tái)式面罩對(duì)準(zhǔn)器，需要最小的潔凈室空間。它為研發(fā)，或有限規(guī)模，試點(diǎn)生產(chǎn)提供了經(jīng)濟(jì)的替代方案。利用創(chuàng)新的空氣軸承/真空吸盤調(diào)平系統(tǒng)，襯底快速平穩(wěn)地平整，用于平行光掩模對(duì)準(zhǔn)和在接觸曝光期間在晶片上的均勻接觸。該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)一微米分辨率和對(duì)準(zhǔn)精度。

對(duì)準(zhǔn)模塊具有掩模插入件組和快速更換晶片卡盤，其便于使用各種襯底和掩模，而不需要用于重新配置的特殊工具。對(duì)準(zhǔn)模塊包括X，Y和Z軸的微米。

200型掩模對(duì)準(zhǔn)器具有可靠的OAI紫外光源，其在近紫外或深紫外中提供準(zhǔn)直的紫外光，使用功率從200至2000瓦的燈。雙傳感器，光學(xué)反饋回路連接到恒定強(qiáng)度控制器，以提供在所需強(qiáng)度的±2％內(nèi)的曝光強(qiáng)度的控制?？梢钥焖俸腿菀椎馗淖僓V波長(zhǎng)。該掩模Aligner是一種靈活，經(jīng)濟(jì)的解決方案，適用于任何入門級(jí)掩模對(duì)準(zhǔn)和UV紫外光照射應(yīng)用.

OAI在MEMS和微流體裝置方面的產(chǎn)品主要包括 :

光刻機(jī)