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為未來顯示領域的標準而生
現在我們每天都在使用的都是先進的顯示技術。從數字標牌和電視機,到智能手機和平視顯示器,Prexision系列光刻機在這次技術革命中發(fā)揮著關鍵作用。全世界制造商的先進平板顯示器都在使用Prexision系列光刻機。這是消費者可找到的分辨率最高的屏幕。
提高分辨率 25%
更佳的貼片性能 70%
顯示器行業(yè)顯示出快速的技術發(fā)展趨勢,像素點越來越小,趨向采用復式顯示器技術,例如AMOLED。這種趨勢需要更復雜的像素設計和更多的內部像素模式。
Prexision-800旨在支持搭配最先進顯示器的節(jié)能產品,如:搭配4K顯示屏的智能手機。Prexision-800分辨率提高了25%,這一新的分辨率標準,不僅極大改善了均勻性,并且在不影響生產效率的情況下即可實現更佳的圖形擬真度,這無疑會使顯示器制造商大大獲益。
Prexision-80是為智能手機和平板電腦顯示屏,達到第8代尺寸的面板不斷增長的像素密度的光掩膜需求而設計的。對于最高分辨率的AMOLED和LCD,Prexision-80的光掩膜質量是無與倫比的。我們的Prexision-80全局和局部的貼片性能更高70%,將光掩膜的質量帶到了新的高度。
Prexision-8和Prexision-10是非常適合批量生產先進的TFT-LCD光掩模。Prexision-8可支持的光掩模尺寸符合第八代面板的需求,并且Prexision-10可支持第十代面板。Prexision-8/10利用雙重寫入模式可提高20%的寫入速度,這將有助于您優(yōu)化吞吐量,質量也將取決于面板尺寸。
|
Prexision-800 |
Prexision-80 |
||
模式 |
HA |
HT |
HA |
HT |
最小值 L/S 已解決[pitch/2] |
550 |
850 |
750 |
1000 |
關鍵尺寸精度[nm] |
15 |
20 |
30 |
35 |
掩膜組套合3σ[nm] |
75 |
100 |
75 |
100 |
寫入速度[mm²/min] |
900 |
1200 |
900 |
1200 |
最大掩膜尺寸[mm] |
1400 x 1620 |
1400 x 1620 |
|
Prexision-8 |
Prexision-10 |
||
模式 |
HA |
HT |
HA |
HT |
最小值 L/S 已解決[pitch/2] |
750 |
1000 |
750 |
1000 |
關鍵尺寸精度[nm] |
70 |
85 |
70 |
85 |
掩膜組套合3σ[nm] |
90 |
120 |
90 |
120 |
寫入速度[mm²/min] |
900 |
1200 |
900 |
1200 |
最大掩膜尺寸[mm] |
1400 x 1620 |
1700 x 20 |
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