掩膜計(jì)量系統(tǒng)
證明您的質(zhì)量
為了說(shuō)明產(chǎn)品是符合規(guī)范的，您必須證明激光掩膜上的圖形能夠在制造顯示屏?xí)r恰當(dāng)?shù)貙?duì)齊。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，您需要比光刻機(jī)精度更高的測(cè)量設(shè)備。
主要優(yōu)勢(shì)
*更佳的配準(zhǔn) 30%
*更好地將掩膜套合到掩膜上 20%
*更短的周轉(zhuǎn)時(shí)間30%
· 最新的創(chuàng)新性Prexision平臺(tái)具備優(yōu)異的精準(zhǔn)度與可重復(fù)性
· 用我們的專(zhuān)利技術(shù)改善配準(zhǔn)測(cè)量。
· 因?yàn)榈谝淮螠y(cè)量的結(jié)果精確無(wú)誤，這大大給您節(jié)省了周轉(zhuǎn)時(shí)間。
· 充分發(fā)揮我們的Prexision光刻機(jī)的潛力。
基于最精確的Prexision平臺(tái)打造出的Prexision-MMS將對(duì)大面積的配準(zhǔn)測(cè)量帶到了全新的高度。現(xiàn)在，您可以證明您的光掩膜質(zhì)量究竟有多好了！
為充分利用其性能，您的測(cè)量系統(tǒng)性能對(duì)于精密調(diào)校光刻機(jī)也是極其重要的，這樣您的光掩膜才能以最高的質(zhì)量描繪出來(lái)。
Prexision-MMS 提供兩個(gè)型號(hào)。G8 型最高可處理用于 8 代顯示器玻璃尺寸的掩模尺寸。對(duì)于 G10 型，最高可處理 11 代顯示器尺寸。
技術(shù)指標(biāo)
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Prexision-MMS
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掩膜對(duì)掩膜套合3σ[nm]
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40
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配準(zhǔn)3σ[nm]
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65
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關(guān)鍵尺寸可重復(fù)性3σ[nm]
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50
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最大尺寸
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G8
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