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俄羅斯Optosystem準(zhǔn)分子激光器CL7000
編號(hào)：
功率：
芯片數(shù)量：

詳細(xì)介紹

準(zhǔn)分子激光器： CL7000, 俄羅斯 Optosystem

準(zhǔn)分子激光器是傳統(tǒng)的氣體激光器，由于波長(zhǎng)短（紫外），短脈沖寬度，高脈沖能量，是激光器家族不可替代的品種！應(yīng)用上，準(zhǔn)分子激光器在脈沖沉積鍍膜（PLD），光纖光柵刻寫，LASIK，光刻，微納加工等方面占主導(dǎo)的地位。

CL7000系列技術(shù)參數(shù)：

型號(hào)	ArF	KrF	XeCl
波長(zhǎng)	193 nm	248 nm	308 nm
管材料	陶瓷
預(yù)電離	火花
標(biāo)準(zhǔn)脈沖能量	250 mJ	400 mJ	300 mJ
平均功率 CL 7020 CL7050 CL 7100	5 W 10 W 20 W	8 W 20 W 35 W	6 W 15 W 25 W
最大重復(fù)頻率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	20 Hz 50 Hz 100 Hz
脈寬	17 ns	20 ns	20 ns
脈沖穩(wěn)定度	sigma < 2%
光斑大小	6 x 20 mm	6 x 21 mm	7 x 22 mm
光束發(fā)散角	1.5 x 4.5 mrad
時(shí)間抖動(dòng)	< 2 ns
尺寸, (重量)	1350L x 375W x 710H мм (170 kg)
冷卻 CL 7020 CL 7050 CL 7100	風(fēng)冷水冷（水流< 1L/min）水冷（水流< 3L/min）
功率 CL 7020 CL 7050 CL 7100	220V / 50Hz, 10А, 不超過(guò)1500 VA 220V / 50Hz, 10А, 不超過(guò) 1800 VA 380/220V, 50Hz, 10А, 不超過(guò) 3500 VA
氣體	1 premix cylinder
控制接口	RS 232, DOS/Windows

可選功能：

1 、1000Kz型號(hào)可選
2、窄線寬型號(hào)可選，線寬0.03cm-1
3、 F2，157nm型號(hào)可選

特點(diǎn)：

1、陶瓷放電激光腔設(shè)計(jì)，長(zhǎng)壽命
2、激光腔，電子系統(tǒng)一體化設(shè)計(jì)
3、功率穩(wěn)定運(yùn)行模式
4、預(yù)混合供氣，使用簡(jiǎn)單
5、計(jì)算機(jī)控制

應(yīng)用：

1、準(zhǔn)分子激光脈沖沉積鍍膜
2、準(zhǔn)分子激光光柵光纖（FBG）刻寫
3、準(zhǔn)分子激光材料加工，微納制造，光刻

準(zhǔn)分子激光激光沉積鍍膜（PLD）系統(tǒng)示意圖

準(zhǔn)分子激光器光纖光柵（FBG）刻寫原理圖

俄羅斯Optosystem準(zhǔn)分子激光器CL7000