Filmetrics是厚度測量系統(tǒng)的制造商。Filmetrics的厚度和回縮指數(shù)可以在不到一秒的時間內(nèi)測量。像Filmetrics的所有儀器一樣，例如F20型號連接到用戶Windows計算機的USB端口并在幾分鐘內(nèi)設(shè)置。

只需一次點擊，我們就可以通過分析薄膜如何反射光來測量薄膜的厚度。通過測量人眼不可見的光，可以測量薄至1nm和厚至13mm的薄膜。而且，由于沒有移動部件，結(jié)果可以在幾秒鐘內(nèi)獲得：薄膜厚度，顏色，折射率，甚至粗糙度

薄膜厚度測量系統(tǒng)

F20系列

測量膜：平面，半透明，吸光膜。
例如：SiO 2 SiNX DLC，光刻膠，多晶硅，

                            非晶硅，硅晶片
基板：平坦，反射

如果要獲得光學(xué)指數(shù)，基板應(yīng)該是平坦的和反射的。如果襯底是透明的，則應(yīng)該進行反射處理。

基板：Si，Al，GaAs，鋼，聚合物薄膜，

                          聚碳酸酯

最強大的工具可用于監(jiān)測薄膜沉積。

用F30光譜反射系統(tǒng)實時測量沉積速率，薄膜厚度，光學(xué)常數(shù)（n和k）以及半導(dǎo)體和介質(zhì)層的均勻性。

F40：顯微鏡薄膜厚度
測量系統(tǒng)

F40產(chǎn)品系列適用于需要小至1微米的光點尺寸的應(yīng)用。對于大多數(shù)顯微鏡，F40只需連接到攝像機安裝的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Cmount適配器。

幾乎任何樣品形狀的厚度和指數(shù)的全自動映射。手動加載和機器人加載系統(tǒng)是可用的。

Filmetrics F60-t系列可以像我們的F50產(chǎn)品一樣映射薄膜厚度和索引，但是它還包含許多專門用于生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動缺口查找，自動機載基線測量，帶運動互鎖的封閉式測量平臺，預(yù)裝軟件的工業(yè)計算機以及升級到完全自動化晶圓處理的選項。

不同的F60-t儀器主要根據(jù)厚度和波長范圍進行區(qū)分。通常需要較短波長（例如F60-t-UV）來測量較薄的膜，而較長的波長允許測量更厚，更粗糙和更不透明的膜。

F3-XXT專門設(shè)計用于測量非常厚的層，尤其是粗糙的表面，例如在IC故障分析的硅背面去除中經(jīng)常遇到的表面。使用UPG-RT-to-Thickness軟件模塊，可以在幾分之一秒內(nèi)測量5μm至1000μm厚的硅。視頻成像可以與SampleCam-XXT一起添加。

XY8自動階段可以添加自動XY映射功能。自動對焦選項也可用。

為了測量更薄的層（小于0.1μm），可以添加可見波長光譜儀。

與我們所有的厚度測量儀器一樣，F3連接到Windows™計算機的USB端口，并在幾分鐘內(nèi)完成設(shè)置。