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KW型勻膠機適用于半導(dǎo)體工藝,制版及表面涂覆等工藝。
勻膠機穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速和快速的啟動,可以保證膠厚度的一致性和均勻性,為此,該機采取了如下措施:
(一) 定子和轉(zhuǎn)子分開供電。定子用穩(wěn)壓電源供勵磁電流,轉(zhuǎn)子用開關(guān)電源調(diào)速,它比用可控硅調(diào)速優(yōu)越得多,轉(zhuǎn)速在1000-8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。
(二) 勻膠機有兩個轉(zhuǎn)速。在啟動之后,先以低速運轉(zhuǎn),使膠攤開,然后自動變到高速運轉(zhuǎn)。兩轉(zhuǎn)速及相應(yīng)的時間分別可調(diào)。
(三) 本勻膠機測速采用光電的方法,在光電測速盤的邊上有三個缺口,光電盤下面裝有光電開關(guān)。當(dāng)光電盤缺口轉(zhuǎn)到光電開關(guān)上方時,光電開關(guān)的接收器沒有信號,當(dāng)光電盤的反射板(缺口以外的其余部分)轉(zhuǎn)到光電開關(guān)上面時,光電接收器便接收到信號產(chǎn)生一個脈沖,光電盤旋轉(zhuǎn)一周,光電接受器便接收到三次信號,因而產(chǎn)生三個脈沖。閘門由秒脈沖電路產(chǎn)生,周期為2秒。當(dāng)馬達(dá)旋轉(zhuǎn)時,如果計時器在2秒內(nèi)計得的數(shù)是n,則每秒鐘應(yīng)該轉(zhuǎn)了n/(2×3)=n/6轉(zhuǎn),每分鐘旋轉(zhuǎn)(n/6)×60=10n轉(zhuǎn)。故計數(shù)器就是每分鐘轉(zhuǎn)速,只不過差一個數(shù)量級。
勻膠機的定時功能由時基電路556來完成,把556按單穩(wěn)形式連接,改變RC常數(shù),就可以改變兩個勻膠時間。在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,在運轉(zhuǎn)時噪音很低。
二、 主要性能
1. 特點是雙轉(zhuǎn)速勻膠機,兩檔轉(zhuǎn)速及其勻膠時間分別連續(xù)調(diào)節(jié),在啟動后先低速運轉(zhuǎn),經(jīng)幾秒鐘后自動轉(zhuǎn)換到高速運轉(zhuǎn)。
Ⅰ檔轉(zhuǎn)速:500-2000轉(zhuǎn)/分
Ⅰ速勻膠時間:2-18秒
Ⅱ檔轉(zhuǎn)速:1500-8000轉(zhuǎn)/分
Ⅱ速勻膠時間:3-60秒
2. LED數(shù)字顯示,轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度±1%,膠的均勻性±3%。
3. 體積小,重量輕,操作方便。
4. 電機功率:40W。
5. 適用于φ10至φ100mm硅片及其它材料等勻膠。
三、控制件功能說明
1.電源開關(guān):控制220伏電源的通斷。
2.轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)鈕:調(diào)節(jié)勻膠轉(zhuǎn)速。
3.控制:在啟動后,定時時間未到,需立即停止而又不能停止吸片,此時只要抬起該鍵便可停止勻膠。
4.吸片:按下時吸住片托上的片子。為避免操作上的錯誤,“吸片”鍵具有聯(lián)鎖功能,不吸片則電機不轉(zhuǎn)。“吸片”鍵抬起后勻膠也就停止。
5.啟動:啟動電機。必須在“控制”鍵和“吸片”鍵都按下時才能啟動運轉(zhuǎn),否則雖按了“啟動”鍵仍不能運轉(zhuǎn)。
6.勻膠時間:調(diào)節(jié)勻膠時間長短,時間分別控制在1-18秒和3秒-1分鐘,其所指刻度與實際時間相近。
7.電源輸入(后):插入220V電源線。
8.保險管座(后):安裝φ5×20-1A保險管。
9.吸片抽氣嘴(后):連接到抽氣泵。氣泵的抽速1升/秒。
四、操作步驟
1.選擇合適的片托,(略小于樣片尺寸)將缺口對準(zhǔn)螺釘。片托安裝時一定要到底。
2.開啟電源,按下“控制鍵”。
3.調(diào)節(jié)合適的勻膠時間和轉(zhuǎn)速。轉(zhuǎn)速Ⅰ為低速,轉(zhuǎn)速Ⅱ為高速。
4.放片,要注意放正。
5.按下“吸片”鍵開始抽氣。注意在按“吸片”鍵之前,轉(zhuǎn)速電位器上的指示燈不應(yīng)亮。
6.按“啟動鍵”,馬達(dá)先以低速旋轉(zhuǎn),數(shù)字穩(wěn)定后為實際轉(zhuǎn)速,如:1.50即為1500轉(zhuǎn)/分。
7.滴膠,動作要快些,要在低轉(zhuǎn)速時間內(nèi)滴膠完畢,然后勻膠機變?yōu)楦咚賱蚰z。若不知道勻膠機是在低速還是在高速運轉(zhuǎn),可以從電位器上面的指示燈來判斷,紅或黃色為低速,綠色為高速。
8.電機停轉(zhuǎn)后,抬起“吸片”鍵,取下片子。
9.勻膠時間、轉(zhuǎn)速若不合適可隨時調(diào)節(jié)。
10.繼續(xù)勻膠時重復(fù)4-8步。
11.勻膠結(jié)束后抬起“吸片”鍵、“控制”鍵,關(guān)斷電源。
五、注意事項
1.每次開機前要注意將“控制”鍵,“吸片”鍵抬起,開啟電源后分別按下各鍵操作,以避免未啟動時電機即轉(zhuǎn)動。
2.不同尺寸的片子選用不同尺寸的片托,厚度在1.5mm以下的片子選用帶吸氣槽的片托,厚度大于1.5mm的片子,選用“O”型圈的片托。
3.所甩樣片的尺寸要大于片托有效尺寸2-3mm左右,如果用大片托甩小的樣片就會產(chǎn)生漏氣,同時造成膠被吸入抽氣室。
4.如果不慎膠被吸入了抽氣室,要立即進(jìn)行清洗,否則片托、光電盤、電機軸會粘在一起,造成電機轉(zhuǎn)不動,拆卸亦很困難。
六、清洗
屬下列情況之一時,需要對抽氣室進(jìn)行清洗:
1. 正常使用三個月的;
2. 膠被吸入抽氣室的;
3. 電機轉(zhuǎn)速不穩(wěn)定或被卡住轉(zhuǎn)不動的。
清洗的辦法是依次取下片托,松開光電盤上的緊固頂絲,(參看抽氣室結(jié)構(gòu)圖)取下光電盤、上密封環(huán)、抽氣室、下密封環(huán)、彈簧,用脫脂棉蘸酒精或丙酮擦洗干凈,再依次裝上彈簧、下密封環(huán)、抽氣室、上密封環(huán)、光電盤,旋緊緊固頂絲。在安裝過程中要注意幾點:
1.彈簧片不要卡在電機軸的臺階上,否則,下密封環(huán)壓不下去,抽氣室放不下去,同時,電機軸亦會被卡住。
2.彈簧片的作用是將下密封環(huán)彈起,使其上表面貼緊抽氣室的下表面。
3.下密封環(huán)的上表面和內(nèi)表面,上密封環(huán)的下表面和內(nèi)表面均涂一點真空脂或黃油,一是起潤滑作用,二是起密封作用。
4.在安裝上密封環(huán)可將其先套在光電盤上,套進(jìn)1mm,不要垂直往軸上安裝,這樣密封環(huán)會掉下去??蓪蚰z機某一側(cè)面向下使電機軸成水平方向,然后將套上密封環(huán)的光電盤插在電機軸上,這樣可保證密封環(huán)的下表面緊貼抽氣室的上表面。
有時根據(jù)情況可只拆下光電盤和上密封環(huán)進(jìn)行清洗.
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