服務(wù)熱線(xiàn)
4001027270
品牌:CHINAPONY 中普尼
型號(hào):CPN-PS-150/OP型、 CPN-PS-125/TP型、CPN-PS-100/TP型
品牌: 英文品牌:CHINAPONYTM 中文品牌:中普尼 TM
是行業(yè)內(nèi)唯一 一家入選“中國(guó)品牌大會(huì)暨建國(guó)六十周年全國(guó)品牌盤(pán)點(diǎn)表彰盛典”并榮獲"中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)影響力十大暢銷(xiāo)品牌"的全球頂級(jí)制造商!
CPN-PS系列智能型凈化多工位勻膠機(jī)(旋涂系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)與真空系統(tǒng):可四個(gè)工位涂膠、凈化等級(jí)為美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))--圖1
CPN-PS系列智能型凈化多工位勻膠機(jī)是集成電路及半導(dǎo)體件生產(chǎn)過(guò)程中涂復(fù)光致抗腐蝕劑的專(zhuān)用設(shè)備,適用于半導(dǎo)體工藝,制板及表面涂覆等工藝.配有專(zhuān)用高標(biāo)準(zhǔn)凈化臺(tái),勻膠時(shí)間和勻膠轉(zhuǎn)數(shù)均勻可調(diào),并配有半導(dǎo)體光電轉(zhuǎn)數(shù)表,具有多工位、高效率、極限轉(zhuǎn)數(shù)高、調(diào)速范圍大等特點(diǎn),主要用于科研和生產(chǎn)工藝線(xiàn)對(duì)LSI及其它半導(dǎo)體器件作涂膠之用。
設(shè)備中涂膠系統(tǒng)由高智能微型機(jī)控制,使四個(gè)工位同時(shí)工作或分別工作,即各工位的運(yùn)轉(zhuǎn)單獨(dú)傳動(dòng),轉(zhuǎn)數(shù)單獨(dú)調(diào)節(jié)及單獨(dú)顯示。
為保證在涂覆工藝中不飛片,設(shè)備中吸頭和真空幫浦中間配有四個(gè)電磁閥,保證了吸片的牢固性和可靠性。
設(shè)備中配有的專(zhuān)用空氣凈化裝置,使操作區(qū)凈化級(jí)別達(dá)到百級(jí).
技術(shù)參數(shù):
型號(hào)與工位數(shù)目:
CPN-PS-150/OP型 :一工位----最大能涂覆100(125)毫米直徑的基片
CPN-PS-125/TP型 :兩工位----最大能涂覆100(125)毫米直徑的基片
CPN-PS-100/TP型 :三工位 ----最大能涂覆100毫米直徑的基片
勻膠工位:1-4工位;(工位數(shù)目可選)
勻膠時(shí)間:1-99秒(連續(xù)可調(diào)).精度為 ≤ ±1%.
勻膠轉(zhuǎn)數(shù):500-8000RPM(連續(xù)可調(diào)).精度為≤± 3%.
凈化效果:100級(jí)(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn))
操作區(qū)風(fēng)速:0.3-0.5米/秒
有效操作區(qū)氣流狀態(tài):垂直層流
我們的品質(zhì):
1,質(zhì)量高于行業(yè)標(biāo)準(zhǔn).
2、提供免費(fèi)送貨服務(wù),具有良好的售后,24小時(shí)響應(yīng)。
3、客戶(hù)滿(mǎn)意度達(dá)到98%以上
CHINAPONYTM(中普尼TM)公司的主要原器件均選用上等產(chǎn)品,其整體性能及智能化方面均是國(guó)際上領(lǐng)先的,經(jīng)CHINAPONYTM(中普尼TM)公司科技部多次檢測(cè)、實(shí)驗(yàn)、調(diào)試、再檢測(cè)、量產(chǎn)等苛刻過(guò)程,因此受到了國(guó)內(nèi)眾多的高標(biāo)準(zhǔn)、嚴(yán)要求的客戶(hù)認(rèn)可,選用率達(dá)98%以上。
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