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    PECVD

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

    庫       存:

    1

    產(chǎn)       地:

    中國-北京市

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

     EPEE 550是一款面向LED領(lǐng)域的大產(chǎn)能PECVD設(shè)備,適用于LED芯片制造中的保護層、SWE掩膜層、CBL等工藝制程
    性能特點:
    • 支持高壓工藝,更快的沉積速率;
    • 高功率清洗技術(shù),更好的清洗效果;
    • 支持雙頻工藝,可控制膜層應(yīng)力;
    • 加熱器三區(qū)控溫,控溫能力更強;
    • 大產(chǎn)能高性價比
    • 大產(chǎn)能,更優(yōu)的大尺寸晶片容量。

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    提問:
     

    請問設(shè)備能達到的最高溫度多大?熱電偶是哪種類型的?

    shangdangshengjie  2017-08-25

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的相關(guān)同類產(chǎn)品:

    服務(wù)熱線

    4001027270

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