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    LHQ-200型PECVD淀積系統(tǒng) Leuven魯汶儀器（中國(guó)北京）

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD

    產(chǎn)品品牌

    Leuven

    規(guī)格型號(hào)：

    LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

    庫(kù)       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    中國(guó)-北京市

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
    交易保障 擔(dān)保交易 網(wǎng)銀支付

    品牌：Leuven

    型號(hào)：LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-鍍膜設(shè)備-PECVD


    LHQ-200型PECVD淀積系統(tǒng) Leuven魯汶儀器（中國(guó)北京）

    產(chǎn)品展示 》薄膜鍍膜

     

    LHQ-200A型PECVD淀積系統(tǒng)

     

     

    系統(tǒng)簡(jiǎn)介

    l具有平行板電極結(jié)構(gòu)，可進(jìn)行8英寸片薄膜生長(zhǎng)的單腔室設(shè)備。

    l能淀積SiO2,SiN以及本征α-Si等薄膜。

    l適用于半導(dǎo)體器件和IC制備中鈍化膜的淀積。

    l采用帶觸摸屏的集成工控機(jī)自動(dòng)控制工藝流程，可靠性高，工藝重復(fù)性好，經(jīng)久耐用。

    l用戶可自設(shè)定和記錄多種實(shí)驗(yàn)程序，操作簡(jiǎn)單、效率高。

    l可廣泛地用于微電子、光電子、太陽(yáng)電池、半導(dǎo)體器件和傳感器等領(lǐng)域。

    機(jī)器性能

    1、可以在200℃~300℃下淀積SiN、SiO2和不摻雜的非晶硅等薄膜；

    2、均勻性：≤±5%；

    3、淀積速率： SiO2≥30nm/min (采用Ar稀釋的5%安全濃度的SiH4)。

    標(biāo)準(zhǔn)配置

    1、陽(yáng)極氧化鋁反應(yīng)腔室；

    2、載片臺(tái)（下電極）可放最大樣片尺寸：8"圓片或152mm×152mm的方片。樣片溫度在200~350℃可調(diào)；

    3、5路進(jìn)氣，5個(gè)數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)控制流量，可定制增減；

    4、射頻電源，帶自動(dòng)匹配器；

    5、分子泵機(jī)組抽本底真空，機(jī)械泵抽淀積時(shí)的反應(yīng)氣體；

    6、工藝過程由帶觸摸屏的集成工控計(jì)算機(jī)控制。工藝條件可預(yù)設(shè)定；

    7、有嚴(yán)格的撿漏、互鎖、報(bào)警和強(qiáng)排風(fēng)等防毒、防爆的安全措施。

    關(guān)于我們

     

    江蘇魯汶儀器有限公司是由比利時(shí)魯汶儀器、中科院微電子研究所等共同注資成立。公司總部位于江蘇省邳州市，在比利時(shí)設(shè)有研發(fā)中心及銷售部，在北京和俄羅斯設(shè)有銷售部。公司秉承“以創(chuàng)新為主導(dǎo)，客戶信賴為第一”的宗旨，倡導(dǎo)精益求精的工匠精神，為客戶提供性能卓越的半導(dǎo)體研發(fā)、生產(chǎn)、材料檢測(cè)等精密設(shè)備及配套技術(shù)服務(wù)。

    公司旨在研發(fā)與生產(chǎn)大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、研究所及半導(dǎo)體生產(chǎn)線所需儀器設(shè)備，瞄準(zhǔn)定制化市場(chǎng)。主要產(chǎn)品有薄膜材料納米孔徑分析儀、高端平臺(tái)刻蝕機(jī)、等離子體刻蝕系列設(shè)備、化學(xué)氣相沉積系列設(shè)備、濺射薄膜鍍膜系列設(shè)備、原子層鍍膜系列設(shè)備、濕法清洗刻蝕系列設(shè)備等，公司擁有自主專利技術(shù)，核心產(chǎn)品技術(shù)國(guó)際領(lǐng)先。

    公司堅(jiān)持以人為本，技術(shù)團(tuán)隊(duì)囊括諾貝爾獎(jiǎng)獲得者、兩名“千人計(jì)劃”專家，多名國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體領(lǐng)域知名教授及高?？蒲性核哪贻p技術(shù)骨干。國(guó)際一流的人才團(tuán)隊(duì)為公司保持技術(shù)領(lǐng)先、實(shí)現(xiàn)創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)打下了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)。

    公司致力于成為全球一流的半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商，愿與客戶、供應(yīng)商、業(yè)界同仁及投資者共同開拓和締造半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的廣闊未來(lái)！

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    問

    你們這個(gè)是平板式雙反應(yīng)室的嗎？有多少個(gè)質(zhì)量流量計(jì)？

    dssj  2017-07-13

    答

     這個(gè)設(shè)備可以帶load-lock傳輸腔室，也可以是手動(dòng)開腔。商城上傳的是帶有l(wèi)oad-lock的機(jī)型。流量計(jì)數(shù)量根據(jù)工藝要求定制，淀積常規(guī)的硅材料，不做摻雜，通常是6~7路氣體。帶有自動(dòng)干法清洗。
    可以留個(gè)聯(lián)系方式，具體事宜可以面談。

    2017-07-20

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