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應(yīng)用領(lǐng)域：
　 »半導體晶圓制造
»LED 芯片制造
»Amplifier
»光學鏡
»功率器件
»科技研發(fā)

設(shè)備配置:
　 »Φ2-8" 圓片及其它形狀的基板
　 »32"×32" 圓形工藝腔
　 »16" VAT 高閥組
　 »加熱溫度500℃，16KW
　 »1-6 坩堝，可選配
　 »Austin 冷泵
　 »3 dome 行星架
　 »電子槍電源，10-15KW air cooled
　 »ELO 17" 觸控屏
　 »10KW電子槍電源

特點：
　 »設(shè)備真空 5.0E 10-7Torr
»工藝真空 8.0E 10-8Torr
»真空速度：2.0E 10-6Torr < 10min（高閥打開）
»最高溫度500°C
»裝片能力：
·3" 108pcs • 4" 57pcs •5" 39pcs
·6" 24pcs • 8" 15pcs
»產(chǎn)能：
·單位小時= 60/99.3*24=14.496
·月產(chǎn)能 = 1440*0.9(PM time)/99.3min*24*30 = 9396
»均勻性：片內(nèi)，片間，批間 ±3%
»Windows XP操作系統(tǒng)，界面友善
　 »控制面板簡潔、清晰，操控方便
»全中文操控平臺，更適合國內(nèi)用戶

動力條件：
　 »電源：VAC208，3相5線 / 50/60Hz，160Amp
　 »冷卻水：3－5 Gmp
»壓縮空氣：85－125psig
　 »氮氣：20－60psig cp-6-1 (1)

iVAC 50高真空電子束蒸發(fā)臺

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