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DZS800型電子束鍍膜設(shè)備沈陽(yáng)鵬程真空

　　主要用途：

　　用于制備導(dǎo)電薄膜、半導(dǎo)體薄膜、鐵電薄膜、光學(xué)薄膜等，廣泛應(yīng)用于大專院校、科研機(jī)構(gòu)的科研及小批量生產(chǎn)。

　　系統(tǒng)組成:

　　系統(tǒng)主要由蒸發(fā)真空室、E型電子槍、熱蒸發(fā)電極、旋轉(zhuǎn)基片加熱臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、真空測(cè)量、電控系統(tǒng)及安裝機(jī)臺(tái)等部分組成。

　　技術(shù)指標(biāo)：

　　極限真空度：≤6.7×10 Pa

　　恢復(fù)真空時(shí)間：從1×10 Pa抽至5×10 Pa≤20min

　　系統(tǒng)漏率：6. 7×10-7Pa.L/S；

　　真空室：真空室800x600 x600mm采用U型箱體前開(kāi)門(mén)，后置抽氣系統(tǒng)

　　e型電子槍：陽(yáng)極電壓：8kv、10kv(1套)

　　坩堝：水冷式坩堝，六穴設(shè)計(jì)，每個(gè)容量11ml

　　功率：0-10KW可調(diào)

　　電阻蒸發(fā)源(可選)

　　電壓：5、10V

　　功率：電流300A，最大輸出功率3Kw1套，可切換水冷電

　　極3根，組成2個(gè)蒸發(fā)舟

　　基片尺寸：可放置4″基片

　　樣品臺(tái)：基片可連續(xù)回轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)速5-60轉(zhuǎn)/分基片與蒸發(fā)源之間距離300-350mm加熱最高溫度 800°C±1°C，可調(diào)手動(dòng)控制樣品擋板組件1套

　　氣路系統(tǒng)：質(zhì)量流量控制器1路

　　石英晶振膜厚控制儀：監(jiān)測(cè)膜厚顯示范圍：0-99μ9999Å

DZS800型電子束鍍膜設(shè)備沈陽(yáng)鵬程真空

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)：

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