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ZZS系列箱式真空鍍膜機發(fā)展始

成都南光機器有限公司的前身，可以追溯到始建于1877年的四川機器總局。歷經(jīng)百年變遷，名稱多次更迭。從2005年9月1日起，本公司啟用新名字：“成都南光機器有限公司”（“南光機器”），取代此前的“國投南光有限公司”。
公司創(chuàng)建之早，堪稱四川近代工業(yè)始祖。百年發(fā)展，步履堅實：1956年成為第二機械工業(yè)部直屬企業(yè)；先后躋身國家大型二級企業(yè)、四川省、成都市高新技術(shù)企業(yè)行列；1997年獲得自營進出口業(yè)務(wù)權(quán)。
公司自1958年起進入真空機械領(lǐng)域，迅速成為國內(nèi)真空行業(yè)骨干企業(yè)。多年來，公司在自我發(fā)展的同時，注重與國內(nèi)眾多科研院所及美國、德國、法國、日本等著名真空企業(yè)的交流和合作，不斷提高技術(shù)水平和制造能力，在國內(nèi)真空機械行業(yè)占有引人注目的地位。迄今為止，公司累計研制新產(chǎn)品412項，其中185項為國內(nèi)首創(chuàng)，多項產(chǎn)品獲得國家或部、省級獎勵。公司是國內(nèi)真空獲得設(shè)備、真空鍍膜設(shè)備、電子專用設(shè)備的主要制造商之一，歷年來，為國內(nèi)四百余條生產(chǎn)線裝備了大量關(guān)鍵設(shè)備，部分產(chǎn)品出口到日本、韓國、美國、印度、澳大利亞、巴基斯坦、新加坡等國。
為了適應(yīng)市場需要，公司進行了企業(yè)所有制的民營化改革。民營所有制的確立帶來了公司經(jīng)營機制和管理模式的深刻變革。南光機器將繼續(xù)在真空設(shè)備領(lǐng)域努力進取，為各界顧客提供更好的產(chǎn)品和服務(wù)。

型號 Model			ZZS600	ZZS700	ZZS800	ZZS900	ZZS1100	ZZS1300	ZZS1800
真空室尺寸(直徑×高) Size of the vacuum chamber (diameter× height)			Φ600×750	Φ710×850	Φ800×900	Φ900×1000	Φ1100×1300	Φ1300×1300	Φ1800×2000
極限真空度 Ultimate vacuum degree			≤3.0×10^-4Pa
恢復(fù)真空時間 Time for vacuum recovery			4.0×10^-3Pa≤15min
抽氣系統(tǒng) Pumping system	擴散泵 Diffusion pump		K-400	TK-500	K-600	K-630	TK-500×2	K-630×2	K-800×2
	羅茨泵 Roots pump					ZJP-150	ZJP-300	ZJP-300	ZJP-1200
	機械泵 Mechanical pump		2X-30	2X-70	2X-70	2X-70	2X-70	2X-70	2X-70，H-150×2
真空測量系統(tǒng) Vacuum measuring system			配三路數(shù)字復(fù)合真空計，兩路低真空，一路高真空 Three-way digital compound vacuum gauge, two ways of low vacuum and one of high vacuum
操作方式 Operation mode			手動/自動 Manual/automatic
工件夾具 Work piece holder			Φ600	Φ640	Φ750	Φ840	Φ1040	Φ1240	Φ1720
工件烘烤系統(tǒng) Work piece baking system			上烘烤，鎧裝管狀加熱器加熱，******溫度350℃，PID自動控溫及顯示 Up baking; heated by sheathed tubular heating element; maximum temperature 350℃; PID automatic temperature control and display.
蒸發(fā)源 Evaporation source	電阻蒸發(fā)源 Resistance evaporation source		電阻蒸發(fā)源功率4KW（8V、600A） Power of the resistance evaporation source: 4KW (8V, 600A)
	電子束蒸發(fā)源 Electron beam evaporation source		E型電子束蒸發(fā)源，功率6～10KW Power of E-type electron beam evaporation source: 6-10KW
膜厚監(jiān)控系統(tǒng) Monitoring system on depth of films			光學(xué)膜厚監(jiān)控，波長范圍380-800nm，9^ｏ透反射光路，六位電動比較片帶顯示；石英晶體膜厚監(jiān)控，美國SQC-310、IC/6 The optical film thickness monitor, a wavelength range of 380-800nm, 9^ｏtransflective optical path, six electric comparison sheet with display; quartz crystal thickness monitoring, the United States SQC-310, IC / 6
充氣系統(tǒng) charge systems			自動壓強儀2～510^-2Pa Automatic pressure instrument
			質(zhì)量流量計：單路單顯，雙路雙顯 Mass flow meter: one way one display, dual way dual display
離子輔助（選配） Ion-assisted (optional)			H6霍爾離子源、H10霍爾離子源、Φ12cm考夫曼離子源、Φ16cm考夫曼離子源 H6 Hall ion source, H10 Hall ion source, Φ12cm Kaufman ion source, Φ16cm Kaufman ion source
深冷捕集器（選配） Cryogenic trap (optional)			國產(chǎn)12P、國產(chǎn)15P、進口POLYCOLD550、進口POLYCOLD670 Domestic 12P, 15P, POLYCOLD 550, POLYCOLD 670
動力需求 Power demand	冷卻水 Cooling water	壓力溫度 Pressure and temperature	壓力：0.25～0.35MPa；溫度≤25℃ Pressure: 0.25-0.35MPa; temperature ≤25℃
		流量 Flow rate	≥50L/min	≥60L/min	≥80L/min	≥100L/min	≥140L/min	≥160L/min	≥180L/min
	壓縮空氣 Compressed air		壓力：0.5～0.7MPa Pressure: 0.5-0.7MPa
	******消耗電力 Maximum power consumption		～25KW	～35KW	～40KW	～45KW	～50KW	～60KW	～120KW
設(shè)備外形尺寸（寬×深×高） Overall dimension (width×depth×height)			2100×1800×2000	3350×2600×2370	3580×3000×2450	3870×3600×2670	3870×3600×2670	3900×4050×2950	4400×4000×3600
設(shè)備總重（KG） Gross weight (Kg)			約1500 about 1,500	約2000 about 2,000	約2500 about 2,500	約3000 about 3,000	約3000 about 3,000	約4000 about 4,000	約6000 about 4,000

ZZS系列箱式真空鍍膜機是鍍制多層光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜的理想設(shè)備

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