服務(wù)熱線
4001027270
團(tuán)簇型多室CVD沉積系統(tǒng)
Cluster Multi-chamber CVD Deposition System
技術(shù)參數(shù)Parameter |
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真空室尺寸 Vacuum chamber size |
主真空室尺寸:Server chamber |
Φ760×270mm |
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工作真空室尺寸: Workstation chamber |
PECVD室 |
250×250×300mm |
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VHFCVD室 |
510×250×300mm |
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HWCVD室 |
550×250×300mm |
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進(jìn)出片室尺寸;Loading chamber |
250×286×300mm |
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主真空室工位數(shù): Server position of server chamber |
6 |
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工作真空室數(shù): Number of Workstation chamber |
5 |
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真空系統(tǒng) Vacuum system |
傳輸室:Server chamber |
F150+D30C |
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工作真空室: Workstation chamber |
F100+D30C |
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進(jìn)出片室:Loading chamber |
D30C |
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極限壓力 Ultimate pressure |
傳輸室:Server chamber |
5×10-4Pa |
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工作真空室: Workstation chamber |
5×10-5Pa |
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進(jìn)出片室:Loading chamber |
5×10-1Pa |
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工件尺寸 Substrate size |
工件最大尺寸: Maximum diameter |
100×100mm |
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工件最大重量:Maximum weight |
2kg |
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最大同時(shí)處理數(shù)量: Maximum loading capacity |
4 |
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操作 Operation |
全自動(dòng)+計(jì)算機(jī)流程控制 Fully automatic computer control |
PLC控制 PLC control |
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氣路控制系統(tǒng) Gas system |
全套進(jìn)口件氣路 16路進(jìn)口流量計(jì) 進(jìn)口變通導(dǎo)閥門(mén) 9路氣體(N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2) imported gas path,16-ways imported MFC,imported alterable valve 9 routes (N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2 ) |
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