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    Activator150 SiC和GaN退火及石墨烯生長

    應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè):

    半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    Centrotherm

    庫       存:

    1000

    產(chǎn)       地:

    德國

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    1000.00
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    品牌:Centrotherm

    型號:

    所屬系列:半導(dǎo)體加工設(shè)備-爐類設(shè)備-退火爐

     

    Activator 150

    SiC和GaN退火及石墨烯生長

     

    centrotherm Activator 150 高溫爐生產(chǎn)線專為硅-碳化合物(SiC)或鎵-氮化合物(GaN) 設(shè)備的后植入燒結(jié)而設(shè)計開發(fā)。Activator 150 可用于多種類型爐體, 如研發(fā)爐和批量生產(chǎn)爐, 且處理靈活性高。centrotherm 的無金屬加熱裝置的獨(dú)特設(shè)計允許處理溫度高達(dá) 1850 °C 同時縮短了工藝循環(huán)時間。由于占據(jù)空間小、購置成本低,所以 Activator 150 可實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)具有成本效益。

     

    高活化率

    表面粗糙程度最小

    溫度最高達(dá) 1850°C

    批量規(guī)模高達(dá) 50硅片(150mm)

    加熱率最高達(dá) 150 K/min

    通過SiH4可實(shí)現(xiàn)硅“過壓

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    提問:
     

    加溫速度是多快???降溫裝置是什么?有現(xiàn)貨嗎?

    hjool  2017-07-24

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