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    無氧退火爐 真空氣氛燒結爐

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體加工設備-爐類設備-退火爐

    產(chǎn)品品牌

    鑫南光

    庫       存：

    100

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

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    品牌：鑫南光

    型號：

    所屬系列：半導體加工設備-爐類設備-退火爐

    成都臥式真空爐又名無氧退火爐、真空氣氛燒結爐 是指元件材料在充入一定氣體的爐膛內進行燒結的工藝。 不同的元件材料選擇適宜的氣氛燒結，有助于燒結過程，提高元件材料致密化程度、獲得良好性能的元件材料。真空氣氛爐常用的惰性氣體有真氫、氧、氮和（如氬）等多種氣體。例如透明氧化鋁陶瓷可用氫氣氛燒結，透明鐵電陶瓷宜用氧氣氛燒結，氮化物陶瓷如氮化鋁等宜用氮氣氛燒結。 有時為保證燒結工藝也須在保護氣氛中操作。如鉬絲爐宜通氫，鎢絲爐宜在真空條件下工作。以上文章由成都氫氣爐,成都氫氣爐廠,成都真空氫氣爐編輯提供

    一、用途：

    本設備為真空或多氣氛保護兩用爐。供材料或器件在真空環(huán)境或保護氣氛環(huán)境下進行燒結、釬焊、熱處理實驗用，也可作為批量不大的生產(chǎn)用。

    二、主要技術參數(shù)：

    1、爐型： 單位臥式

    2、有效工作區(qū)： Φ200×200（mm）

    3、爐溫：最高溫度1500℃    工作溫度1300℃、溫度均勻性≤±5℃（空載，真空狀態(tài)）

    4、真空度：極限真空：9×10-4Pa、工作真空：5×10-3Pa

    5、抽氣時間：≤40min（大氣狀態(tài)至工作真空度）

    6、控溫方式：1點  程序自動

    7、氣冷壓強：≤0.12MPa

    8、操作方式：手動/自動.

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