Planar-200
Planar-200拋光機(jī)采用單拋光盤、多拋光頭布局，具備自動(dòng)溫度控制系統(tǒng)、工藝數(shù)據(jù)采集和存儲(chǔ)、多步驟拋光工藝、壓力/溫度/轉(zhuǎn)速高精度控制、無(wú)級(jí)變頻盤驅(qū)動(dòng)等特點(diǎn)。
天津華海清科機(jī)電科技有限公司成立于2013年，是天津市政府與清華大學(xué)踐行“京津冀一體化”國(guó)家戰(zhàn)略，為推動(dòng)我國(guó)化學(xué)機(jī)械拋光（CMP）技術(shù)和設(shè)備產(chǎn)業(yè)化成立的高科技企業(yè)。
華海清科主要從事CMP設(shè)備和工藝及配套耗材的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務(wù)，核心團(tuán)隊(duì)成員來(lái)自清華大學(xué)及業(yè)內(nèi)專業(yè)人才，擁有CMP技術(shù)專利100余項(xiàng)，產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于極大規(guī)模集成電路制造、三維封裝、微機(jī)電系統(tǒng)制造、晶圓平坦化、基片制造等領(lǐng)域。
華海清科依靠國(guó)際化的經(jīng)營(yíng)理念和人才團(tuán)隊(duì)、先進(jìn)的工藝試驗(yàn)條件，致力于為相關(guān)領(lǐng)域的企業(yè)、高校和科研院所提供先進(jìn)的CMP設(shè)備及工藝的集成解決方案。并遵循“科技服務(wù)社會(huì)”的公司宗旨，持續(xù)進(jìn)行以優(yōu)良的品質(zhì)和卓越的服務(wù)贏得國(guó)內(nèi)外用戶的信賴
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