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    包郵 關(guān)注:415

    W系列—弧高臺階儀 蘇州愛特盟

    應用于半導體行業(yè):

    半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

    產(chǎn)品品牌

    蘇州愛特盟

    庫       存:

    100

    產(chǎn)       地:

    中國-江蘇省

    數(shù)       量:

    減少 增加

    價       格:

    面議
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    品牌:蘇州愛特盟

    型號:

    所屬系列:半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

    W系列—弧高臺階儀
     專利號:ZL201120280620.7

     

    探測系統(tǒng):

    顯微探頭:實現(xiàn)快速弧高及臺階測量,可測弧高臺階范圍50~2000μm(一般弧高的高度不超過800μm),并支持器件幾何尺寸測量;
    激光探頭:

    實現(xiàn)快速臺階測量,可測臺階范圍2~500μm,并支持表面輪廓掃描。

     

    系統(tǒng)配置:

     

    用途
    1.弧高測量 2.臺階測量 3.器件尺寸測量
    型號
    WB-70RX
    載物臺
    全自動載物臺
    行程:105mm X 105mm
    支持夾具定制
    聚焦
    電動聚焦系統(tǒng),解析率:1.0μm
    顯微探頭:含影像自動聚焦及特有雙ROI長焦掃描功能
    激光探頭:含影像輔助定位功能
    照明系統(tǒng)
    環(huán)形、同軸照明可選
    軟件系統(tǒng)
    圖像處理軟件系統(tǒng),
    帶虛擬弧高算法功能及SPC控制模塊
    檢查性能
    顯微探頭:高度測量3σ≤3.0μm,精度±3um;
    激光探頭:高度測量3σ≤0.2μm,精度±0.2um;
    標配外觀尺寸
    長:800mm  寬:750mm  高:1500mm

     

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