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4001027270
• 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震；
• 獨(dú)家專(zhuān)利的直動(dòng)式傳感器設(shè)計(jì)；
• Z方向分辨率0.1m；重復(fù)性1σ 0.2nm以?xún)?nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm；
• Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）；
• 樣品臺(tái)的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；
• 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測(cè)量長(zhǎng)度100mm，Y方向最大移動(dòng) 150mm；
• 選配三維測(cè)量功能。
極佳重復(fù)性與線性度
• 采用直動(dòng)式檢測(cè)方式；
• 可避免圓弧補(bǔ)正誤差；
• 可避免Bearing間隙誤差；
• 臺(tái)階測(cè)定重復(fù)性：1σ 0.2nm以?xún)?nèi),但實(shí)際可達(dá)0.1nm；
• Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）。
高分辨率
• 縱軸最高分辨率0.1nm；
• 橫軸最高分辨率0.1um；
• X測(cè)定速度可調(diào)：5μm~2mm/s；
• 可測(cè)量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺(tái)階等。
超高垂直直線度
• 垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱(chēng)為垂直直線度；
• 可追溯性：通過(guò)ISO9000國(guó)際認(rèn)證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產(chǎn)品出廠皆有出廠測(cè)試認(rèn)證報(bào)告；
• 超高垂直直線度精度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm；
• 可測(cè)定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內(nèi)應(yīng)力。
位移光柵尺與時(shí)間取樣
ET150絕佳的設(shè)計(jì) 達(dá)到最佳的測(cè)量效果
• 設(shè)備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
→ 最佳的測(cè)量穩(wěn)定性和設(shè)備穩(wěn)定、耐用性
• 直動(dòng)式檢測(cè)器
→ 最佳的測(cè)量重復(fù)性&線性度，確保各樣品臺(tái)階測(cè)量的精度、準(zhǔn)確度
• 樣品臺(tái)超高的垂直直線度保證
→ 進(jìn)一步提高臺(tái)階測(cè)量精度，確保樣品形狀不變形
• 樣品臺(tái)X方向光柵尺定位，最長(zhǎng)測(cè)量距離100mm，最快測(cè)量速度5μm/s
→ 樣品周期性結(jié)構(gòu)不失真，長(zhǎng)距離有利于測(cè)定多種國(guó)際參數(shù)
形狀及粗度解析果
粗度規(guī)范對(duì)應(yīng)：可對(duì)應(yīng)各種國(guó)際新舊標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范，測(cè)量參數(shù)多達(dá)60種；
超大測(cè)定力范圍
• 測(cè)定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設(shè)定；
• 可測(cè)定軟質(zhì)材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等。
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