網站首頁

中|EN

當前位置: 首頁 » 設備館 » 半導體測試設備 » 表面形貌測試 » 臺階儀 »微細形狀測定機（臺階儀）ET150K31
    •
    包郵 關注:449

    微細形狀測定機（臺階儀）ET150K31

    應用于半導體行業(yè)：

    半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

    庫       存：

    10

    產       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
    交易保障 擔保交易 網銀支付
    • 商品詳情
    • 商品參數(shù)
    • 評價詳情(0)
    • 裝箱清單
    • 售后保障

    品牌：

    型號：

    所屬系列：半導體測試設備-表面形貌測試-臺階儀

     微細形狀測定機（臺階儀）
    Step Height Measuring System
    ET150K31

    KOSAKA SE 500-59表面粗糙度測定機是一款KOSAKA新推出的經濟型便攜式臺式兩用機型。根據(jù)您的需求任意組合，并可對多種零件表面的粗糙度，波紋度以及原始輪廓進行多參數(shù)評定，是一款帶有專用控制器的高精度，高性能，表面粗糙度測量儀器，簡單操作，顯示一目了然。


    ET150K31 組合



    產品特性

    · 設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震

    · 獨家專利的直動式傳感器設計

    · Z方向重復性1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm

    · Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）

    · 樣品臺的垂直直線度保證：局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    · 高精度的X方向位移光柵尺控制，X方向最大測量長度100mm，Y方向最大移動150mm

    · 自帶三維測量功能

    ET150K31的結構


    花崗巖低重心設計


    極佳重復性與線性度

    采用直動式檢測方式
    可避免圓弧補正誤差
    可避免Bearing間隙誤差
    臺階測定重復性：1σ 0.2nm以內,但實際可達0.1nm
    Z方向線性度為±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）


    直動式檢出器構造


    重復測量數(shù)據(jù) (10 times)


    直動式檢出器測量邊沿效應


    直動式檢出器測量邊沿效應

    線性度
    Vertical linearity（垂直線性度） : ±0.25% （樣品厚度＞ 2000A）；5A （樣品厚度≤2000A）
    線性度計算公式： 誤差范圍 / Z方向測量范圍
    測量設備型號 : ET-150系列
    測試樣品為 :VLSI 和TAYLOR HOBSON 認證的標準樣品
    Taylor Hobson Step Height Mean Value : (2.454 ± 0.030)um
    VLSI Step Height Mean Value : (946.8 ± 5.6) nm
    VLSI Step Height Mean Value : (41.6 ± 0.7) nm

    Taylor Hobson 標準樣


    VLSI SHS-9400QC


    VLSI SHS-440QC


    高分辨率

    縱軸最高分辨率0.1nm

    橫軸最高分辨率0.1um
    X測定速度可調：5μm~2mm/s

    可測量超薄樣品、高深寬比樣品、多層臺階等


    超高垂直直線度

    垂直直線度：任何直線垂直方向上的偏移量稱為垂直直線度

    可追溯性：通過ISO9000國際認證，可追溯NIST(USA)及NRLM(JAPAN) ，產品出廠皆有出廠測試認證報告

    超高垂直直線度精度保證：
    局部0.005um/5mm、全量程0.2um/100mm

    可測定樣品的平面度、波紋度、翹曲度、內應力

    超高垂直直線度的優(yōu)勢


    超高直線度國際認證數(shù)據(jù)


    位移光柵尺與時間取樣


    ET150K31絕佳的設計，達到最佳的測量效果

    設備主體花崗巖，低熱膨脹，低重心，自隔震
    ·最佳的測量穩(wěn)定性和設備穩(wěn)定、耐用性

    直動式檢測器
    ·最佳的測量重復性&線性度，確保各樣品臺階測量的精度、準確度

    樣品臺超高的垂直直線度保證
    ·進一步提高臺階測量精度，確保樣品形狀不變形

    樣品臺X方向光柵尺定位，最長測量距離100mm，最快測量速度5μm/s
    ·樣品周期性結構不失真，長距離有利于測定多種國際參數(shù)

    實時監(jiān)控測量位置

    配備標準CCD：實時監(jiān)控測量位置

    可選購TOP VIEW CCD，執(zhí)行高精度定位量測

    形狀及粗度解析

    粗度規(guī)范對應：可對應各種國際新舊標準規(guī)范，測量參數(shù)多達60種

    可測量臺階及傾斜度

    超大測定力范圍
    測定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意設定 可測定軟質材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等

    觸針保護蓋板及方便更換
     



     


     


    咨詢

    購買之前，如有問題，請向我們咨詢

    提問:
     

    應用于半導體行業(yè)的相關同類產品：

    服務熱線

    4001027270

    功能和特性

    價格和優(yōu)惠

    微信公眾號