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    牛津PlasmaPro 80 ICP

    產(chǎn)品品牌

    牛津

    庫(kù)       存：

    10

    產(chǎn)       地：

    全國(guó)

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價(jià)       格：

    面議
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    客服電話：4001027270

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    品牌：牛津

    型號(hào)：

    所屬系列：半導(dǎo)體加工設(shè)備-刻蝕設(shè)備-其它刻蝕設(shè)備

     PlasmaPro 80 ICP是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小型且使用方便的直開(kāi)式系統(tǒng)，可提供多種刻蝕解決方案。 它易于放置，便于使用，且能夠確保工藝質(zhì)量。直開(kāi)式設(shè)計(jì)允許快速的進(jìn)行晶圓裝卸，是科學(xué)研究、原型設(shè)計(jì)和少量生產(chǎn)的理想選擇。 該設(shè)備通過(guò)優(yōu)化了的電極冷卻技術(shù)和出色的襯底溫度控制來(lái)實(shí)現(xiàn)高度穩(wěn)定的工藝結(jié)果。

    • 直開(kāi)式設(shè)計(jì)允許快速裝卸晶圓

    • 出色的刻蝕深度和刻蝕速率控制

    • 出色的晶圓溫度均勻性

    • 晶圓最大可達(dá)200mm

    • 購(gòu)置成本低

    • 符合半導(dǎo)體行業(yè) S2 / S8標(biāo)準(zhǔn)

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