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    PlasmaPro 100 Cobra

    產(chǎn)品品牌

    牛津

    庫       存：

    1

    產(chǎn)       地：

    全國

    數(shù)       量：

    減少 增加

    價       格：

    面議
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     PlasmaPro 100系列刻蝕和沉積設(shè)備可安裝多種襯底電極，能夠在很寬的溫度范圍內(nèi)進行工藝，具有200mm單晶圓和多晶圓批處理能力，該工藝模塊可提供具有高度均勻，高產(chǎn)量和高精度的工藝。

    • 電極的適用溫度范圍寬，-150°C至400°C

    • 兼容200mm以下所有尺寸的晶圓

    • 快速更換到不同尺寸的晶圓工藝

    • 購置成本低且易于維護

    • 緊密的設(shè)計，布局靈活

    • 實時清洗和終點監(jiān)測

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