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“源自德國”針對中國高科技行業(yè)的廢氣處理技術(shù) 戴思環(huán)保設(shè)備

發(fā)表于:2017-08-05  作者:3185162  關(guān)注度:359

“源自德國”針對中國高科技行業(yè)的廢氣處理技術(shù)

高科技行業(yè)如半導(dǎo)體、光伏、LED和FPD等使用的工藝氣體多為易燃、易爆氣體 (如H2、SiH4) 或有毒氣體 (如COF2、HBr、F2),這些氣體在接觸人或野生生物前必須經(jīng)過處理。同時,這些有些使用的氣體會對環(huán)境造成污染,例如,CF4能在大氣中存在約50,000年,溫室效應(yīng)比CO2強(qiáng)6,500倍。許多廢氣的氣流中含有大量顆?;蚍蹓m,極可能干擾設(shè)施排放氣體,導(dǎo)致制造工廠的系統(tǒng)或業(yè)務(wù)意外地不能進(jìn)行工作或停工。

處理工業(yè)廢氣的原因

  • 保護(hù)設(shè)備與設(shè)施
  • 保護(hù)人類
  • 保護(hù)環(huán)境
為半導(dǎo)體行業(yè)提供的廢氣處理

為半導(dǎo)體行業(yè)提供的廢氣處理

20世紀(jì)90年代早期,半導(dǎo)體行業(yè)缺乏適當(dāng)且全面的廢氣處理技術(shù)解決方案。從過去到今日,該行業(yè)一直使用有害工藝氣體,其產(chǎn)生的廢氣必需經(jīng)過有效的處理。常見處理工藝有:

  • WCVD
  • 外延
  • 蝕刻
  • 晶圓清洗

常見氣體/主要成分為CF4、SF6、C4F8、SiH4、NH3、TEOS、NF3、H2、SiH2Cl2、GeH4、IPA 和HF。

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為光伏行業(yè)提供的廢氣處理

為光伏行業(yè)提供的廢氣處理

太陽能被視為“綠色科技”,但多年來,絕大部分以硅為原料制作太陽能電池的生產(chǎn)過程都采用了半導(dǎo)體行業(yè)司空見慣的處理步驟。與半導(dǎo)體行業(yè)一樣,太陽能電池的生產(chǎn)過程可能使用了會污染環(huán)境的有害物質(zhì),根據(jù)相關(guān)法律規(guī)定,需進(jìn)行有效的處理。常見處理工藝有:

  • CVD
  • TCO
  • 烘干

常見氣體/主要成分為SiH4、NH3、DEZ與松油醇

為LED行業(yè)提供的廢氣處理

為LED行業(yè)提供的廢氣處理

在為手機(jī)小型液晶屏以及電視市場的大型液晶屏提供LED背光之后,下一個潛在增長市場將是照明行業(yè)。LED大眾市場的規(guī)模意味著排放量增加,極需專門的廢氣處理系統(tǒng)進(jìn)行處理凈化。常見處理工藝是MOCVD。 常見氣體/主要成分為H2與NH3。

為其他行業(yè)及工序提供的廢氣處理

DAS為部分行業(yè)提供靜電除塵處理系統(tǒng),以減少有機(jī)物排放 (揮發(fā)性有機(jī)復(fù)合物),并處理粉塵。如:

  • 化工業(yè)
  • 造紙業(yè)
  • 塑料回收

 

“源自德國”的環(huán)保高科技,在中國廣受贊譽(yù)

Wu Bin 戴思環(huán)保設(shè)備貿(mào)易(上海)有限公司

«我們是一家專注于尾氣處理設(shè)備和污水處理解決方案的世界領(lǐng)先的環(huán)保供應(yīng)商,我們將以德國的品質(zhì)給您提供滿意的方案及產(chǎn)品,使您不用再為保護(hù)我們可愛的環(huán)境而煩惱。»

吳彬,DAS中國分公司總經(jīng)理

環(huán)境專家

DAS Environmental Expert

戴思環(huán)保設(shè)備貿(mào)易 (上海) 有限公司 (DAS Environmental Equipment China Ltd.) 位于上海,是總部設(shè)于德國德累斯頓的DAS Environmental Expert公司的中國分公司。自1991年成立起,專為特定客戶生產(chǎn)使用端廢氣處理設(shè)施。
DAS公司于2001年進(jìn)駐中國市場,如今已為中國的半導(dǎo)體和光伏行業(yè)安裝了數(shù)百套產(chǎn)品。2011年,DAS中國實施了全球最大的薄膜太陽能項目,2012年成功地與天威完成了聯(lián)合成本節(jié)省項目。
多家知名客戶尤為稱道DAS集團(tuán)的合作發(fā)展理念。DAS在微晶片和太陽能電池模塊制造工藝方面的廣泛技術(shù)知識令他們受益匪淺。DAS利用這些專業(yè)經(jīng)驗,為客戶量身打造各種高效環(huán)保的解決方案。
DAS Environmental Expert公司業(yè)務(wù)遍布全球,目前擁有246名員工。公司另設(shè)有一個業(yè)務(wù)部門,專門為工業(yè)和城市廢水開發(fā)處理和系統(tǒng)解決方案。

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