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蒸發(fā)透明導電薄膜ITO 代加工

發(fā)表于：2019-10-24  作者：gdisit  關注度：343

 

設備名稱：ITO電子束蒸發(fā)臺 / 臺灣聚昌

用途：蒸發(fā)透明導電薄膜ITO

技術(shù)指標：

1. 樣品尺寸：102*2英寸、21*4英寸、12*6英寸

2. 基底刻蝕溫度： 室溫-350℃可調(diào)，控溫精度1℃

3. 極限真空：2×10-7 torr，蒸發(fā)均勻性：<±5%

案例：

不同氧流量ITO形貌
                                                                                      不同氧流暢ITO形貌
 

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