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本中心有多臺碳化硅晶圓各個工藝加工和分析測試的進口設(shè)備，包括：熱蒸發(fā)，磁控濺射，離子注入，快速退火，光刻，勻膠顯影，刻蝕等工藝，多名行業(yè)內(nèi)具有豐富經(jīng)驗的應(yīng)用專家，可為用戶提供碳化硅晶圓工藝加工和分析測試代工服務(wù)。
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