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ZZSX系列鍍膜機應用范圍：
主要用于多層膜的鍍制，可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜。
ZZSX系列鍍膜機技術特點：
根據(jù)需要可以增加或提高配置，如真空系統(tǒng)選用分子泵、低溫泵；真空室配低溫捕集器；膜厚控制采用石英晶體膜厚控制儀；輔助鍍膜采用離子源、RF射頻轟擊等。

ZZSX系列鍍膜機主要技術參數(shù)：

型號參數(shù)			ZZSX-500	ZZSX-700	ZZSX-800	ZZSX-1100	ZZSX-1200	ZZSX-1350
結構形式			箱式前開門后置抽氣系統(tǒng)
真空室尺寸寬×深×高/mm			500×500×680	700×700×860	800×800×1000	1100×1100×1200	Φ1200×1200	Φ1350×1240
極限壓力/Pa			≤5×10-4Pa
抽氣時間/min			從1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20
蒸發(fā)源	e型270磁偏轉電子槍	加速電壓/KV	6,10兩檔可切換
		數(shù)量/套	1		1（根據(jù)用戶需要可安裝2套）
		功率/kv	6				10
		坩堝容積/ml及穴數(shù)	20×4（或110環(huán)形坩堝）				22×4（或120環(huán)形坩堝）
	電阻加熱式	電壓/v	5,10
		功率/kw	2.5			5
		水冷電極/對數(shù)	2/交替蒸發(fā)
工件架類型及尺寸/mm			整體拱形夾具Φ460	4片拱形夾具Φ650	4片拱形夾具Φ740；行星夾具Φ450×3任選一種	4片拱形夾具Φ1000；行星夾具Φ770×3任選一種	4片拱形夾具Φ1100	4片拱形夾具Φ1240
工件烘烤		功率/kw	4.5	4.5	9		13.5
		溫度/℃	350
直流離子轟擊		最高電壓/v	3400
		額定功率/kw	1			1.5
真空系統(tǒng)配置			K-400油擴散泵系統(tǒng)	KT-500油擴散泵系統(tǒng)	K-600油擴散泵系統(tǒng)	KT-600油擴散泵系統(tǒng)	K-800油擴散泵系統(tǒng)	雙套K-600油擴散泵系統(tǒng)
光學鍍膜控制			光纖光路，透,反射控制，波長380nm-760nm（可擴展至380nm-1100nm）
水冷		水壓/Pa	～2.5×105Pa
		水溫/℃	<25
壓縮空氣/Pa			(5-8)×105Pa
總功率/kw			22	25	35	46	54	56
占地面積/mm長×深×高			2600×2500×1900	2800×2700×2100	3200×3200×2400	3500×3600×2600	4000×3600×2600	4200×4000×2800

北京北儀創(chuàng)新真空技術有限責任公司（原北京儀器廠）創(chuàng)建于1954年，總部位于中央商務區(qū)（CBD）的中心位置。生產(chǎn)基地位于大興工業(yè)開發(fā)區(qū)，占地面積31064平方米，建筑面積45504平方米。2003年通過ISO-2000質(zhì)量體系認證。共有真空獲得、真空測量、真空應用三大類產(chǎn)品，從低真空到超高真空30多個系列160多個品種。產(chǎn)品廣泛地應用于航天航空、電子信息、光學產(chǎn)業(yè)、冶金、建筑裝飾、食品、紡織、電力環(huán)保及新能源等行業(yè)。經(jīng)過50多年對真空技術的探索，通過與全國多所大專院校、研究院所進行的多次合作開發(fā)，以及公司研發(fā)人員不斷的創(chuàng)新與研發(fā)，北儀創(chuàng)新公司始終站在中國真空行業(yè)的前沿。
在真空測量技術、真空獲得技術、光學多層全自動鍍膜技術、通用磁控濺射及多靶磁控濺射技術（DC、MC、RF濺射技術）以及PECVD技術等方面處于國內(nèi)領先，并有多項科研成果獲得國家專利。近年來，為多個院校、研究院所開發(fā)制造多臺用于研究薄膜太陽能電池的實驗室設備。在擁有成熟的真空技術的基礎上，2006年北儀創(chuàng)新公司研制成功了國內(nèi)首條自行設計制造的非晶硅薄膜太陽能電池生產(chǎn)線，其核心是采用單室多片大面積PECVD沉積技術，用于生產(chǎn)大型玻璃光電模板一次完成多片數(shù)十平方米的雙節(jié)非晶硅薄膜的沉積，在相對低的設備投資下取得較高的大面積模板的產(chǎn)量，產(chǎn)品的性能指標達到國際同等水平，設備銷往廣東、福建、浙江等地區(qū)，改變了以往我國非晶硅薄膜電池生產(chǎn)線依靠進口的現(xiàn)狀。

北儀創(chuàng)新公司一貫秉承并將繼續(xù)堅持“誠信精益”的企業(yè)精神，不斷汲取客戶的建議及業(yè)界的先進技術，以“顧客先導持續(xù)改進”的價值觀在合作中實現(xiàn)共贏。

ZZSX系列鍍膜機用于多層膜的鍍制可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜

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