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IntelliSense測試平臺
IntelliSense 可以為客戶提供各種MEMS器件與工藝參數(shù)的測試服務(wù)。
一、 IntelliSense壓力傳感器測試系統(tǒng)
1、 遵循JB/T 10524-2005標準的測試系統(tǒng);
2、 包括壓力控制器、高低溫試驗箱(-60℃~150℃)、高精度穩(wěn)壓電源、萬用表;
3、 可以精確測得傳感器的非線性、靈敏度、重復(fù)性、遲滯、精度、溫度穩(wěn)定性等各項參數(shù)指標。
二、 各種MEMS測量、檢測能力
1、激光掃描顯微鏡
用于半導(dǎo)體器件的片上表面形貌，三維結(jié)構(gòu)，剖面等全方位精細測量。
2、探針臺/半導(dǎo)體參數(shù)測試系統(tǒng)
半導(dǎo)體器件表征儀器，主要應(yīng)用于半導(dǎo)體器件的片上電氣測試?？捎眉傻拿}沖發(fā)生器和選擇開關(guān)自動完成器件表征，用內(nèi)置的應(yīng)力測量模式完成晶片的可靠性測試?？赏瓿蓽熟o態(tài)的電容對電壓的測量。確保器件質(zhì)量及可靠性，縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。
3、半導(dǎo)體薄膜檢測儀
精確測量硅基上的二氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、多晶硅等單層和雙層薄膜的厚度。
4、半導(dǎo)體臺階輪廓檢測儀
精確測量表面2D臺階形貌，可測量臺階范圍：0-130μm，掃描長度范圍：0-10mm。
5、半導(dǎo)體邏輯分析儀
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片的數(shù)學(xué)信號波形測量與產(chǎn)生特點輸入脈沖向量，精確測量精密的時序關(guān)系。
6、方塊電阻測試儀
采用四探針的原理對半導(dǎo)體工藝過程中的表面薄膜方阻進行測試，可以便捷快速的測得薄膜的技術(shù)參數(shù)。
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