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ABM-LED光刻機(jī)（標(biāo)準(zhǔn)型）怡合瑞豐

設(shè)備型號：ABM/6/350/NUV/DCCD/M

ABM-LED光刻機(jī)（標(biāo)準(zhǔn)型）適用于藍(lán)光LED、紅光LED、綠光LED、白光LED、綠光LED、TFT-LCD光刻，OLED光刻的研發(fā)和生產(chǎn)，ABM-LED光刻機(jī)（標(biāo)準(zhǔn)型）具有高穩(wěn)定性、堅(jiān)固耐用、性能卓越等突出特點(diǎn)。因此被大多數(shù)研發(fā)機(jī)構(gòu)和生產(chǎn)企業(yè)所青睞。

光學(xué)系統(tǒng)：

曝光時間調(diào)解器：0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s)
365-400nm光強(qiáng)傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán)；
聲控功率警報(bào)裝置可防止系統(tǒng)功率超過設(shè)定指標(biāo)；
有安全保護(hù)裝置的溫度及其氣流傳感器；
全景準(zhǔn)直透鏡光線偏差半角: <1.84度；
波長濾片檢查及安裝裝置
抗衍射反射功能高效反光鏡；
二向色的防熱透鏡裝置；
防汞燈泄漏裝置；
配備蠅眼棱鏡裝置
配備近紫外光源
--365 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 18-20 mW/ cm2
--400 nm 輸出強(qiáng)度 – 大約 30-35 mW/ cm2

主要配置：

6“光源系統(tǒng)
配置2英寸或4英寸卡盤
手動系統(tǒng)（半自動系統(tǒng), 自動對準(zhǔn)系統(tǒng)可選）
支持電源350w
90-600倍連續(xù)放大CCD（方便LED基片對準(zhǔn)）
棱鏡對準(zhǔn)裝置，使最小雙視場對準(zhǔn)縮小為10mm(支持LED碎片光刻）

主要性能指標(biāo)：

光強(qiáng)均勻性Beam Uniformity:：
   --<±1% over 2” 區(qū)域
   --<±2% over 4” 區(qū)域
   --<±3% over 6” 區(qū)域
接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV）：0.5 um
支持接近式曝光，特征尺寸CD：
     --0.8um 硬接觸
    --1um    20um 間距時
    --2um    50um 間距時
正面對準(zhǔn)精度 ±0.5um
支持LED優(yōu)異電流控制技術(shù)PSS工藝光刻
支持真空、接近式、接觸式曝光
支持恒定光強(qiáng)或恒定功率模式

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