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納米壓印設備之紫外納米壓印：EVG600系列

一、簡介

EVG公司成立于1980年，公司總部和制造廠位于奧地利，在美國、日本和臺灣設有分公司，并在其他各地設有銷售代理及售后服務部，產品和服務遍及世界各地。

EVG公司是一家致力于半導體制造設備的全球供應商，其豐富的產品系列包括：涂膠和噴膠/顯影機/熱板/冷板、掩模版光刻/鍵合對準系統(tǒng)、基片熱壓鍵合/低溫等離子鍵合系統(tǒng)、基片清洗機、基片檢測系統(tǒng)、SOI 基片鍵合系統(tǒng)、基片臨時鍵合/分離系統(tǒng)、納米壓印系統(tǒng)。

目前已有數(shù)千臺設備安裝在世界各地，被廣泛地應用于MEMS微機電系統(tǒng)/微流體器件，SOI基片制造，3D封裝，納米壓印，化合物半導體器件和功率器件等領域。

EVG是世界上為數(shù)不多的可以商業(yè)化納米壓印設備的著名公司，可為客戶提供完整的納米壓印方案，包括熱壓印、紫外壓印、微接觸印刷。EVG公司以其專利的極其優(yōu)異的對準技術和世界領先的熱壓技術為納米壓印的成功實施打下了堅實的基礎。

EVG620紫外納米壓印用于從印章到襯底的紫外圖形轉移。EVG620自動納米壓印系統(tǒng)允許襯底和印章的尺寸從很小的芯片到150mm直徑的圓片范圍。用于納米技術應用的配置包括印章機械釋放、程序控制高或低的接觸壓力。EVG獨有的吸盤設計支持軟印章和硬印章壓印，可以保證大面積納米壓印的均勻壓力，從而保證獲得很高的良率。

二、應用范圍

納米壓印技術主要應用于如下方面：

LEDS 制作，LED PSS納米壓印工藝，LED納米透鏡陣列；微流體學；芯片實驗室；抗反射層；納米壓印光柵；蓮花效應；光子帶隙；光學及通訊：光晶體，激光器件；生物技術解決方案：醫(yī)藥分析，血液分析，細胞生長。

三、主要特點

u 適用于紫外納米壓印和微接觸印刷；

u 紫外光曝光；

u 配備專用的紫外納米壓印工具；

u 適于軟或硬印章壓印；

EVG設備咨詢：

18612385131

歡迎來電咨詢！

u 適用襯底：Si，玻璃，化合物半導體；

奧地利EVG 納米壓印設備之紫外納米壓印：EVG600系列

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